ASM International, fabrikant van apparatuur voor de chipindustrie, gaat de productie- en innovatiecentrum in Dongtan (Zuid-Korea) aanzienlijk uitbreiden. Het bedrijf met hoofdkantoor in Almere wil daar de komende drie jaar ongeveer honderd miljoen euro investeren. De r&d-infrastructuur ondergaat een uitbreiding, terwijl er ook extra productiecapaciteit bijkomt.
Hierover is in principe overeenstemming bereikt tussen ASM en het Koreaanse ministerie van Handel, Industrie en Energie. Korea is een belangrijke locatie voor ASM, waar enkele van de meest geavanceerde toepassingen worden ontwikkeld. Atomic layer deposition (ald) ‘gap fill’-toepassingen, de specialiteit van ASM, zijn daar een recent voorbeeld.
Volgens ceo Benjamin Loh blijft ASM investeren omdat tot het eind van dit decennium een snelle groei van de markt voor halfgeleiders wordt verwacht. Niet alleen grote Koreaanse afnemers, ook klanten wereldwijd zullen van de uitbreiding in Dongtan profiteren.
ASM, sinds 1989 actief in Korea, telt daar meer dan 450 werknemers. Korea is het wereldwijde centrum voor de peald-activiteiten van ASM, een gepatenteerde ald-ontwikkeling die verbeterde filmeigenschappen bij lagere temperaturen mogelijk maakt en zorgt voor extra controle over de filmeigenschappen
Lokale onderzoekers uit ontwikkelden verschillende innovaties zoals de ald quad chamber module (qcm)-architectuur, de Tenza-ald voor het opvullen van gaten met een ultrahoge beeldverhouding en hoogwaardige peald-oxiden en -nitriden voor afstandshouders, voeringen en andere applicaties voor het vormen van patronen.
