Cleanroom ASML
Chipmachinebouwer ASML uit Veldhoven neemt het failliete Mapper uit Delft over. Die chipmachinebouwer ging eind 2018 op de fles. ASML neemt het intellectueel eigendom over en belooft zijn best te doen om werk te vinden voor het personeel van Mapper. Van de overeenkomst zijn geen financiële details bekendgemaakt.
ASML werd al langer genoemd als mogelijke koper. Vandaag meldt het bedrijf in een persbericht dat de overname van Mapper rond is. ASML heeft naast het intellectueel eigendom ook oog voor de medewerkers die actief zijn op het vlak van research en development.
Bij Mapper, dat een spin-off is van de TU Delft, werken ongeveer 270 mensen. De ontwikkelaar van maskerloze elektronenbundel-lithografiemachines, ook wel e-beam-lithografie genoemd, moest eind 2018 uitstel van betaling aanvragen wegens acuut geldgebrek. Het bedrijf kreeg in 2010 21,4 miljoen euro overheidssteun om zijn e-beam-lithografietechniek verder te ontwikkelen.
Het verschil tussen de manier die ASML toepast in zijn machines die chips maken en de techniek van Mapper is dat bij ASML licht door een masker op de wafer valt om zo de schakelingen op een chip te vormen. Die methode wordt ook wel EUV genoemd (Extreme Ultraviolet Lithography).
E-beam
Mapper doet dat anders, namelijk door middel van het tekenen van de schakelingen met licht op de chip, die methode wordt e-beam genoemd. Dit doet een machine van Mapper met honderdduizenden lichtstralen tegelijk, maar dit zorgde voor veel technische obstakels in het ontwikkelingstraject.
Lees ook